一、項目概況
某電子廠的凈化間處于廠房核心部位.內(nèi)層房間為凈化間，外層房間為空調(diào)機房。凈化間分為百級和萬級兩種級別，其中百級凈化間總面積467.6m2，萬級凈化間總面積6000m2。本工程共分兩期，一期工程中百級和萬級凈化間面積各占總面積的31.2m2和3004.5m2。百級凈化間用來作為凈化服的烘干室。
二、系統(tǒng)設計
1.空調(diào)機房
外層4.2m高區(qū)域作為凈化間的空調(diào)機房，空調(diào)機組均吊裝于該區(qū)域。空調(diào)機組送加風管道均安裝有消聲裝置，保證凈化間的噪聲符合標準，機房區(qū)設有上人通道，方便機組檢修。
2.空調(diào)形式
1)100級凈化間采用FFU送風單元送風垂直層流，穿孔高架地板回風。FFU送風單元額定風量為848.5m3/h，超高效過濾器效率為99.999%(0.1μm)，滿布率為90%，凈化間的總送風量為37200m3/h，折合換氣次數(shù)為370次/小時，房間斷面風速為0.3m/s。共設空調(diào)機組3臺。高架地板下裝有可旋轉(zhuǎn)多葉風閥，通過調(diào)整風閥的開啟度，可對房間的斷面風速及正壓值進行調(diào)節(jié)。
2)萬級凈化間采用亂流，氣流組織形式為上送上回，凈化大廳頂棚均布高效送風口161個，每只風口額定風量為1400m3/h，凈化間換氣次數(shù)為30次/小時，總送風量為225400m3/h，回風口40個，共設空調(diào)機組15臺。
3.空氣處理過程
1 )新風的處理
凈化間新風由凈化新風機組集中處理，夏季首先窒外新風通過新風入口處的無紡布初效過濾器建除大顆粒塵粒，經(jīng)純凈水噴淋室除塵由離心式通風機送至表冷器進行冷卻除濕并通過再熱盤管再熱，最后經(jīng)化學過濾器、去鹽過濾器(95%)、高效過濾器(99.97% >0.3μm)進入總新風管；冬季新風則先經(jīng)預熱器預熱，再進入純凈水噴淋室加濕并除塵，由離心式通風機送至表冷器進行加熱，最后經(jīng)化學過濾器、去鹽過濾器(95% )、高效過濾器(99.97%>0.3μm)進入總新風管。經(jīng)新風機組處理后的新風分供各空氣處理機(AHU)送入凈化間，以供應人員新風量補充凈化間內(nèi)的排風以及調(diào)節(jié)凈化間內(nèi)的相對濕度和維持凈化間內(nèi)所需的正壓。
2)循環(huán)風處理
凈化間內(nèi)人員的操作是產(chǎn)塵的主要原因，除一部分塵粒由真空吸塵系統(tǒng)在工作部位下吸走外，還要依靠凈化間各空氣處理機組(AHU)對循環(huán)空氣進行凈化處理米達到潔凈的要求，循環(huán)風進入表冷器冷卻或加熱處理后經(jīng)風機段進入中效過濾器進行過濾，然后進入高效送風口，經(jīng)高效過濾后送入凈化間。
3)潔凈度的監(jiān)控
隨著計算機產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，硬盤驅(qū)動器的性能不斷增強，計算機更新的周期迅速縮短，而磁阻磁頭(HGA)是生產(chǎn)計算機硬盤的關鍵部件，隨著計算機更新速度的加快，其需求量日益增大，這就要求生產(chǎn)HGA的凈化間長年24小時處于穩(wěn)定的運行狀態(tài)，凈化間潔凈度的保持是HGA品質(zhì)的重要保證。從而要求對凈化間沽凈進行必要的監(jiān)控。在實際運行過程中，每星期兩次采用粒子計數(shù)器凈化間隨機選取的點進行潔凈度檢測，百級4個點，萬級50個點，然后將所測粒子數(shù)與凈化間標準值進行比較.以便及時了解凈化間的運行狀況。
4)機械通風；
機械通風系統(tǒng)主要排除在HGA生產(chǎn)區(qū)激光室等產(chǎn)生的微量廢氣包括丙酮、異丙醇、曲通-100等，排風系統(tǒng)的排風口設在工作部位的排氣點，根據(jù)職業(yè)衛(wèi)生健康的要求，各排氣口的排風速度須△0.4m/s，排風機旋轉(zhuǎn)在16米高的樓頂，采取變頻調(diào)控。
5)冷熱源
凈化空調(diào)系統(tǒng)的冷凍水由冷凍站提供，供水溫度7℃，回水溫度12℃，水壓為0.4MPa，熱水由自備的349kW的電熱鍋爐供給，供水溫度60℃回水溫度50℃?？偫湄摵蔀?/span>980kW，總熱負荷為8kW空調(diào)冷凍水系統(tǒng)為二管制異程系統(tǒng)，分支管路設置平衡閥，平衡各路壓力，末端設備回水管上設置電動三通閥調(diào)節(jié)水量。
6)空調(diào)自控系統(tǒng)的設計
自控系統(tǒng)由控制器.閥門推動器.溫濕度傳感器、壓力傳感器等組成。新風系統(tǒng)初效卷簾過濾器由壓差傳感器及傳動電機控制，當風阻△P△150Pa時，自動更新。預熱段、表冷段和再熱段都分別設有溫度傳感器，根據(jù)氣象條件，其相應的控制器的溫度設定值為27.5℃、12.5℃和18℃，與實測瞬時溫度比較后，由閥門推動器來控制水管閥門的開啟程序，從而使處理后的空氣溫度恒定在設定值。去鹽過濾及高效過濾段裝有壓差顯示表并有壓差信號輸出報警。
AHU的控制是根據(jù)凈化間內(nèi)溫度傳感器與相應各AHU控制器上的設定溫度進行比較來控制AHU冷凍水管比例調(diào)節(jié)器的開啟度，達到恒溫要求，濕度的調(diào)節(jié)主要是通過對新風系統(tǒng)預熱和冷卻溫度的調(diào)節(jié)來實現(xiàn)。溫、濕度傳感器信號與監(jiān)控室的數(shù)字顯示器及記錄儀相連接。可隨時觀察及打印系統(tǒng)的溫濕度。
AHU的風機與冷凍水管閥門推動器進行聯(lián)鎖，冷凍水閥門隨風機的啟閉而動作。排風系統(tǒng)與新風系統(tǒng)聯(lián)鎖，新風系統(tǒng)開啟，則排風機隨之啟動。在冷凍水供回干管上設有設定壓力為0.28MPa的自動壓力旁通控制閥，保護管網(wǎng)。
三、系統(tǒng)的運行情況
新風系統(tǒng)的設計風量為45000m3/h，排風系統(tǒng)的設計風量為29500m3/h，新風機及排風機都設有變頻調(diào)整裝置，可根據(jù)不同時期的生產(chǎn)量進行調(diào)節(jié)，保證潔凈室內(nèi)的新風量和正壓值。根據(jù)季節(jié)的變化，須對新風系統(tǒng)溫度的設置進行合理的調(diào)節(jié)，新風溫度過低，表冷器除濕量過大，不僅再熱能耗大，而且還會導致新風過于干燥；新風溫度過高將無法被有效地去濕。實踐表明，新風系統(tǒng)應用周期性的維護，否則，新風系統(tǒng)的效率會顯著的降低。
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