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?????電子光學(xué)行業(yè)如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠;液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機(jī)電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機(jī)電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開(kāi)潔凈的生產(chǎn)環(huán)境。生產(chǎn)所要求的環(huán)境不僅僅有:建筑圍護(hù)、結(jié)構(gòu)、空氣、水、氣體以及溶劑等原材料,而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如:建筑的形式和層高、結(jié)構(gòu)的承重、圍護(hù)結(jié)構(gòu)的裝修材料;環(huán)境空氣的潔凈度、溫、濕度、壓力梯度、空氣中對(duì)工藝有害的化學(xué)分子;水和氣體的純度、粒子濃度、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。
● 凈:電子光學(xué)行業(yè),尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度的要求越來(lái)越凈。例如,12吋園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達(dá)1級(jí)(0.1μm)也就是每立方英尺空氣中≥0.1 μm的粒子數(shù)不能超過(guò)1顆,相當(dāng)于ISO 1級(jí)。特別重要的是它對(duì)環(huán)境空氣提出了去除分子污染(SO2 , Nox , VOC ,NH3等)的要求。
?● 精:電子行業(yè)生產(chǎn)工藝對(duì)環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來(lái)越精。還以上述微電子的光刻間為例:其溫度精度為±0.1℃,相對(duì)濕度的精度為±3%。
?● 純:大規(guī)模集成電路前工序?qū)ιa(chǎn)用的高純水、高純氣體以及高純?nèi)軇┑募兌纫笤絹?lái)越純。例如:對(duì)高純水而言,不僅對(duì)其電阻率有要求,而且對(duì)高純水中所含粒子、細(xì)菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴(yán)格的要求,隨著生產(chǎn)工藝的發(fā)展,對(duì)其純度的要求也越來(lái)越高??芍^純之又純。
?● 嚴(yán):電子工業(yè)生產(chǎn)不僅對(duì)環(huán)境的潔凈度,溫、濕度有嚴(yán)格的要求,同時(shí)對(duì)環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場(chǎng)屏蔽)、振(微振)等都有嚴(yán)格的要求。尤其微電子生產(chǎn),對(duì)環(huán)境的分子級(jí)污染提出了新的嚴(yán)格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴(yán)格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對(duì)半導(dǎo)體工藝有害的元素。因此在處理空氣時(shí)還要用淋水(淋自來(lái)水、淋純凈水)來(lái)吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學(xué)過(guò)濾器來(lái)吸附新風(fēng)中的有害分子成份。
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