一、潔凈室主體結構施工
主體結構混凝土施工質量對潔凈度控制有極大的影響。高潔凈度廠房在混凝土裂縫控制、耐久性、外觀質量等方面較普通廠房建筑有更高的要求。在裂縫的控制上較一般工程更為嚴格，要求達到無肉眼可見裂縫，杜絕貫穿裂縫等有害裂縫的存在。工程所采用混凝土，按普通混凝土高性能化的技術路線，進行原材料優(yōu)化選擇、配合比優(yōu)化設計和施工過程的有效控制，確保了混凝土的高質最要求。
出于高潔凈度需要和工藝、設備管線布置的要求，潔凈室采用承載能力大、空間布置靈活的密孔樓板，這種樓板能很好地滿足芯片生產(chǎn)設備的管線安裝布置及潔凈度要求。
密孔樓板施工采用圓孔華夫模板，二層華夫板面需直接做超潔凈環(huán)氧地坪，對板面混凝土密實度和表面強度要求嚴格，板面平整度偏差在3mm內不大于±3mm，表面原漿壓光，一次成型。
二、潔凈室裝飾裝修施工
潔凈室的建筑裝飾施工應在廠房屋面防水工程和外圍護結構完成、外門及外窗安裝完畢后進行。潔凈室可采用金屬墻板裝配式結構，也可采用砌筑墻或現(xiàn)澆混凝土墻抹灰等形式。
潔凈室建筑裝飾施工應采用不起塵、不開裂的材料，在施工過程中須特別注意各種接縫的處理，防止開裂、起塵，并在接縫處采用密封膠填塞，接縫處的縫隙不應大于0.5mm。建筑裝飾及門窗的縫隙應在潔凈室的正壓面密封。
（1）環(huán)氧樹脂自流平地坪施工
為保證高潔凈度，墻面、部分地面采用環(huán)氧涂料。環(huán)氧樹脂自流平地坪施工流程：原地面地處理(對所施工地板進行全面打磨、修補、除塵)→底涂層處理(將底涂材料用滾筒滾涂或鏝刀刮涂)→鋪設石英砂漿層→中涂層處理(待砂漿層固化，打磨、除塵后用鏝刀刮涂調配好的中層材料)→面涂層處理(對中涂層打磨、吸塵，再將面涂材料鏝涂于中涂層之上，使之自平流展）
（2）內墻環(huán)氧乳膠漆施工
內墻環(huán)氧乳膠漆施工在室內門窗、燈具安裝完畢后進行。先做頂棚，再做墻面，最后做分色線。
施工流程：基層處理→刷底膠(木質及油漆面除外)→木質基層封閉→局部補膩子→滿刮膩子→刷底層涂料→刷面涂料→保潔和保護。
室內裝飾施工往往會有其他工種的交叉作業(yè)，應注意涂料工程的成品保護：已施工墻面如受到污染，可用干凈的濕抹布輕輕擦洗，污染嚴重時應重新涂刷；如不慎沾上油漆，應在油漆干燥前，用稀釋劑將其擦去；涂層干后，在交工前不得長時間浸水，以免發(fā)生質量事故；涂刷工具用畢應及時清洗干凈并安善保管。柱、墻、梁陽角均抹圓處理以防碰壞落灰或積灰，踢腳不超出墻、柱平面，防止積灰。
（3）高架地板施工工藝
①放樣
根據(jù)施工圖，用經(jīng)緯儀在現(xiàn)場放出X，Y軸線，用鐳射儀放出水平基準線。每個區(qū)域中部放一基準軸線和水平基準線，并放出輔助軸線和水平標高線。
②基準排鋪設
沿X，Y軸基準線，各鋪設6排地板，調整使其與軸線對齊，與標高相平，以該6排作為基準排。
③大面鋪設、調平
沿基準排逐排鋪設大面地板，將腳架擺放于相應位置，一般區(qū)腳架為φ48管，加強區(qū)腳架為φ60管。利用鐳射儀調整上基座至接近地板下之高度位置(粗平)。腳架調平后開始抹膠，膠應均勻地涂抹于底盤上。為保證抹膠均勻，抹膠工作由專業(yè)技術人員負責進行。
將抹好膠的腳架置于地面，同時擺放縱橫向的橫梁，一般區(qū)為25 mm×25 mm×558 mm的門形橫梁，加強區(qū)為25 mm×25 mm×558 mm方形橫梁且中間加一支25mm×25 mm×776 mm的加強斜梁。鎖橫梁螺絲，橫梁螺絲的規(guī)格為12M6的十字沉頭螺絲。
敲導電墊片并鋪地板。利用鐳射儀調整上基座，使地板表面高度與水平標高線相平(精平)。在大面施作時，每50排需用經(jīng)緯儀檢驗X，Y軸之垂直適合位移，隨時進行調整修正，最后應進行收邊處理。
三、高潔凈度芯片廠空調及管道系統(tǒng)安裝關鍵技術
凈化空調及管道系統(tǒng)的施工安裝是高潔凈廠房施工的最重要組成部分，必須按高潔凈廠房的整體施工要求、進度安排和潔凈室特有的施工程序進行組織。
（1）風管施工安裝
采用自動剪板機進行風管下料，根據(jù)不同管徑確定其施工順序如下：
①管徑2000 mm以下風管：工廠加工(半成品)→運至預制廠組裝成成品→運至現(xiàn)場清潔→吊裝→漏光試驗→保溫；
②管徑2000 mm以上風管：工廠加工(半成品)→運至預制廠組裝加固→清潔→吊裝→漏光試驗→保溫。
（2）管道安裝
①支吊架預制及安裝
根據(jù)施工圖及現(xiàn)場情況，繪制完整的支吊架制作大樣圖。支吊架安裝按《通風與空調施工質量驗收規(guī)范》執(zhí)行。潔凈室區(qū)域采用鍍鋅型材。鍍鋅型材焊接完成后，在焊縫處嘖涂一遍鍍鉻噴漆。支吊架的預制遵循“先主后次，先主管、后支管，先大管，后小管”的施工程序。
②管道吊裝
用起重機將每一樓層所需管子吊到該層?？紤]安裝過程中的安全性，針對大口徑管道，吊裝選用手拉葫蘆和卷揚機相結合的方式。在管道系統(tǒng)端部搭投一個臨時吊裝架，先用單軌吊車或卷揚機將管子提到吊裝架上(如條件允許，可用起重機直接將管子吊至吊裝架上)，然后用卷揚機在另一端水平牽引，將管子拉上支架固定。其他樓層則根據(jù)現(xiàn)場情況選用合適的吊裝方式。
③管道安裝
工程中所用管材中鍍鋅鋼管居多，其次是不銹鋼管，再次是U-PVC管。鍍鋅鋼管直徑大于50 mm以上者采用焊接，直徑不大于50mm時采用螺紋連接；不銹鋼管全部采用氬弧焊；PVC管采用膠水粘接。管道安裝完成后進行氣壓及水壓試驗。承壓管道的試驗壓力按工作壓力1.5倍計，冷凝水管做通水試驗。
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