一、 工藝冷卻水系統(tǒng)（PCW）
1、系統(tǒng)解析：
核心功能：為工藝設備（如真空泵、擴散爐、蝕刻機等）提供恒定溫度、恒定壓力的冷卻水。關鍵組成：板式換熱器、循環(huán)水泵、緩沖水箱、補水系統(tǒng)、水溫控制系統(tǒng)（三通閥/變頻控制）、精密過濾器、水質監(jiān)測與加藥裝置、管道及閥門。
2、核心參數(shù)：
供水溫度：設定值±0.5℃（如22±0.2℃），供水壓力：設定值±0.1Bar，水質：電導率<10 μS/cm，總硬度<50 ppm as CaCO3，細菌總數(shù)<1000 CFU/mL，流量：根據(jù)設備需求。
3、運維要點：
日常巡檢：檢查供水溫度、壓力是否穩(wěn)定，檢查水泵運行狀態(tài)，檢查水箱液位，觀察水質在線儀表讀數(shù)（電導率、pH），檢查系統(tǒng)有無泄漏。
4、定期維護：
每周：檢測水質（pH、電導率、硬度、微生物），根據(jù)結果調整加藥量。每月：清洗過濾器濾網，檢查水泵機械密封。每季度：對系統(tǒng)進行排污和補水，校準溫度、壓力傳感器及水質儀表。每年：清洗板式換熱器及水箱，對管道系統(tǒng)進行化學清洗預膜（視情況而定）。
5、關鍵記錄：運行參數(shù)日志、水質分析報告、加藥記錄、維護記錄。
二、 壓縮空氣與真空系統(tǒng)
1、系統(tǒng)解析：
核心功能：提供干燥、潔凈的壓縮空氣作為氣動動力源或工藝氣體；提供穩(wěn)定真空環(huán)境滿足工藝要求。
2、關鍵組成：
空壓系統(tǒng)：空壓機（螺桿式/離心式）、儲氣罐、冷凍式干燥機、吸附式干燥機、三級過濾器（油水、粉塵、活性炭）、輸配管道。真空系統(tǒng)：真空泵（干泵/油旋片泵/羅茨泵）、真空儲罐、除塵/過濾裝置、廢氣處理裝置、輸配管道。
3、核心參數(shù)：
壓縮空氣：壓力~0.6-0.8MPa，露點溫度<-40℃（常壓），含油量<0.01 ppm，固體顆粒物<0.01μm，真空：極限真空度（如1x10?3 mbar），抽氣速率
4、運維要點：
日常巡檢：檢查空壓機/真空泵運行溫度、壓力、電流，觀察冷干機冷凝水排放情況，檢查過濾器壓差指示，監(jiān)聽設備有無異響，檢查儲氣罐/真空罐壓力。
5、定期維護：
每日：排放儲氣罐及過濾器冷凝水。每月：清潔空壓機冷卻器，檢查傳動皮帶，測試安全閥。每季度：更換壓縮空氣過濾器濾芯，檢查吸附式干燥機吸附劑，更換真空泵油（油潤滑式），清潔真空泵進氣過濾器。每年：清洗儲氣罐內部，校準所有壓力表及傳感器，對空壓機進行全面保養(yǎng)（由專業(yè)廠家進行）。
6、關鍵記錄：運行數(shù)據(jù)記錄、維護保養(yǎng)記錄、過濾器更換記錄、露點及含油量檢測報告。
三、 中央監(jiān)控與能源管理系統(tǒng)（BMS/EMS）
1、系統(tǒng)解析：
核心功能：對全廠廠務設施進行集中監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄、報警管理、能效分析和優(yōu)化控制。關鍵組成：監(jiān)控服務器、操作員工作站、網絡交換機、PLC/DDC控制器、各種傳感器（溫度、壓力、流量、液位、水質等）、執(zhí)行器（閥門、變頻器）、智能電表、軟件平臺。
2、運維要點：
日常操作：24小時監(jiān)視系統(tǒng)報警并及時處理，瀏覽關鍵參數(shù)趨勢圖，定期備份數(shù)據(jù)庫及系統(tǒng)配置。
3、定期維護：
每周：檢查服務器、工作站、網絡設備運行狀態(tài)，清理日志文件。每月：校驗關鍵傳感器讀數(shù)與現(xiàn)場儀表的一致性，檢查控制器I/O模塊狀態(tài)。每季度：對軟件系統(tǒng)進行安全掃描和病毒查殺，更新漏洞補?。ㄐ柙跍y試環(huán)境驗證后）。每年：對系統(tǒng)進行全面的功能測試和聯(lián)動測試，校準所有接入的智能表計。
4、關鍵記錄：報警處理記錄、系統(tǒng)備份記錄、軟件變更記錄、校準測試報告。
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