以集成電路為代表的微電子產(chǎn)業(yè)和以TFT-LCD為代表的光電子產(chǎn)業(yè)對(duì)其生產(chǎn)環(huán)境（建筑、結(jié)構(gòu)、空氣、水、溶劑、供電、控制......）的要求極為嚴(yán)格和苛刻，而且隨著技術(shù)的不斷發(fā)展、更新?lián)Q代對(duì)環(huán)境的要求也不斷的升級(jí)。
建設(shè)潔凈廠房的投資非常高，費(fèi)用非常大。而且潔凈廠房的潔凈級(jí)別高、凈化送風(fēng)量大，工藝設(shè)備排風(fēng)量大、新風(fēng)量大、廠房溫濕度要求嚴(yán)、精度高，空氣溫濕處理消耗能量大，運(yùn)行耗電量大、運(yùn)行費(fèi)用高。目前高級(jí)別潔凈廠房的做法有以下幾種：
（1）局部高級(jí)別凈化代替全面高級(jí)別凈化
設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的實(shí)際要求，該高則高，該低則低。在允許的情況下盡量將高級(jí)別凈化的加工空間控制在小區(qū)域范圍內(nèi)，盡量減少高凈化級(jí)別面積，以局部高級(jí)別凈化代替全面高級(jí)別凈化，以降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用。
（2）空氣處理和空氣輸送方式
在高潔凈級(jí)別的潔凈廠房設(shè)計(jì)中，空氣處理和空氣輸送方式大體可分為三類，即：空氣集中處理集中輸送方式，空氣半集中處理半集中輸送方式(海灣式、遂道式)和FFU加干盤管加新風(fēng)機(jī)組方式。
（3）空調(diào)和凈化分離
為了減少空氣熱濕處理過程中的無效能耗(如再熱等)和空氣輸送的能耗，在潔凈廠房設(shè)計(jì)中往往將保證潔凈廠房溫、濕度的空氣（10%左右）和保證室內(nèi)潔凈度的空氣（90%左右）分開處理，被稱作空調(diào)與凈化的分離。一般負(fù)擔(dān)室內(nèi)溫、濕度的部分空氣要經(jīng)過設(shè)在空調(diào)機(jī)房內(nèi)的空氣處理機(jī)（AHU）進(jìn)行熱濕處理達(dá)到設(shè)計(jì)參數(shù)后送到送風(fēng)靜壓室內(nèi)。而負(fù)擔(dān)潔凈度的部分空氣就地附近循環(huán)，同時(shí)在送風(fēng)靜壓室內(nèi)與經(jīng)空調(diào)器處理的部分空氣混合再經(jīng)過高效過濾器(HEAP)或超高效過濾器（ULPA）過濾后送到潔凈廠房內(nèi)。這樣不僅節(jié)省了冷卻和再熱的無效能耗同時(shí)減少了70%空氣的輸送能耗，另外還省掉了大約50~80%的空調(diào)機(jī)房面積。
（4）加強(qiáng)室外新風(fēng)的處理
為了提高產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率必須加強(qiáng)對(duì)新風(fēng)的凈化處理。常用的處理方法如下：
①噴水法是較好的處理方法，就是在新風(fēng)空調(diào)器中采用傳統(tǒng)的噴水室。噴城市自來和噴純凈水。采用噴水的方法對(duì)處理SOX、NOX、Na和Cl都有較好的效果，尤其是噴純凈水。
②采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器也是較好的方法：它們是利用物理吸附加上化學(xué)吸附的原理來處理低濃度分子態(tài)的化學(xué)污染物質(zhì)。采用化學(xué)過濾器和活性炭過濾器的同時(shí)要考慮到它們的再生，還原和廢棄處理等問題，不應(yīng)產(chǎn)生二次污染。某微電子廠的新風(fēng)處理機(jī)采用了十二個(gè)功能段(兩級(jí)加熱、兩級(jí)表冷、兩級(jí)淋水、四級(jí)過濾和一級(jí)加濕)。
潔凈空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)是個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)工程，而且隨著人們生活水平的日益提高以及對(duì)潔凈技術(shù)認(rèn)識(shí)的不斷深化，對(duì)潔凈空調(diào)技術(shù)也提出了更高的要求。在微電子領(lǐng)域等對(duì)潔凈技術(shù)要求較高的特殊場(chǎng)合下，研究空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的特殊性以及探索開發(fā)出更科學(xué)合理的空調(diào)方式，對(duì)保證人體健康和工作效率具有深遠(yuǎn)而廣泛的現(xiàn)實(shí)意義。
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