一、管道系統(tǒng)安裝
（1）管道安裝前應(yīng)進行以下準(zhǔn)備工作：
1配管下料時應(yīng)采用“等離子切割”或?qū)Ｓ们懈钿?、割管刀等工具，不?yīng)采用氧-乙炔焰切割，不得涂抹油脂或潤滑劑。
2管道切口應(yīng)與管軸線垂直，切口表面應(yīng)平整、無裂紋，應(yīng)去除毛刺。
3在主管道上連接支管或部件時，宜用成品連接件。
4普通不銹鋼管應(yīng)在工廠的清洗槽中用酸洗液清洗后再用清水沖洗干凈。
5氧氣管道及附件，安裝前應(yīng)按相關(guān)規(guī)定方法進行脫脂，脫脂應(yīng)在遠離潔凈室的地點進行，并做好操作人員的安全與環(huán)境保護工作。
（2）管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計要求，設(shè)計無要求時，應(yīng)敷設(shè)在人員不易碰撞的高度上，否則應(yīng)有防護設(shè)施。輸送干燥氣體的管道宜無坡度敷設(shè)；真空吸弓|管道和含濕氣體管道的坡度宜大于或等于0.3%，坡向真空泵站或冷凝水收集器。
（3）不銹鋼管道應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《現(xiàn)場設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工及驗收規(guī)范》GB 50236的要求采用氬弧焊焊接連接，焊接時管內(nèi)應(yīng)充氬氣保護，直至焊接、吹掃、冷卻完畢后停止充氣。
（4）有接地要求的管道，法蘭間必須接有多芯導(dǎo)電跨線。
（5）穿過圍護結(jié)構(gòu)進人潔凈室的氣體管道，應(yīng)設(shè)套管，套管內(nèi)管材不應(yīng)有焊縫與接頭，管材與套管間應(yīng)用不燃材料填充并密封，套管兩端應(yīng)有不銹鋼盤型封蓋。
（6）高純氣體管道的安裝，除應(yīng)符合以上有關(guān)條款規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：
1經(jīng)脫脂或拋光處理的不銹鋼管，安裝前應(yīng)采取保護措施，防止二次污染。
2管道預(yù)制、分段組裝作業(yè)，不得在露天環(huán)境中進行。
3分段預(yù)制或組裝的管段完成后兩端應(yīng)用膜、板等封閉。
4高純氣體管道為無縫銅管時，應(yīng)采用承插式硬釬焊焊接。焊接紫銅管時應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《磷銅釬料》GB/T 6418要求選用磷銅釬料；焊接紫銅與黃銅管時宜按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《銀基釬料》GB10046要求，選用HL304含銀量為50%的銀基釬料。管內(nèi)應(yīng)通人與工藝氣體同等純度的氮氣作為保護氣體并吹除，不宜用沾水紡織材料擦拭。
5高純氣體管道如無法避免用螺紋連接時，宜在銅與銅、銅與銅合金附件外螺紋上均勻掛錫，非氧氣管道宜采用聚四氟乙烯帶纏繞管口螺紋。
6不銹鋼管、銅管應(yīng)冷彎，彎管半徑宜大于等于5倍管材外徑；管壁不得起皺。
7高純氣體管道為聚偏二氟乙烯(PVDF)管時，應(yīng)采用白動或半自動熱焊機焊接連接。兩管對接面錯邊不應(yīng)大于1mm。不同壁厚的管子不得對焊，熱焊接連接時應(yīng)采取保護環(huán)境和人員安全的措施。
8管道系統(tǒng)支架間距應(yīng)小于普通氣體管道的支架間距，并應(yīng)采用吊架、彈簧支架、柔性支撐等固定方式。應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工及驗收規(guī)范》GB 50235的要求，在不銹鋼管與碳鋼支架之間墊人不銹鋼或氯離子含量不超過50×10-6(50ppm)的非金屬墊層。
9潔凈室內(nèi)高純氣體與高干燥度氣體管道應(yīng)為無坡度敷設(shè)，不考慮排水功能，終端應(yīng)設(shè)放氣管。
（7）醫(yī)用氣體管道安裝后應(yīng)加色標(biāo)。不同氣體管道上的接口應(yīng)專用，不得通用。
二、管道系統(tǒng)的強度試驗
（1）可燃氣體和高純氣體等特殊氣體閥門安裝前應(yīng)逐個進行強度和嚴密性試驗。管路系統(tǒng)安裝完畢后應(yīng)對系統(tǒng)進行強度試驗。強度試驗應(yīng)采用氣壓試驗，并應(yīng)采取嚴格的安全措施，不得采用水壓試驗。當(dāng)管道的設(shè)計壓力大于0.6MPa時，應(yīng)按設(shè)計文件規(guī)定進行氣壓試驗。
（2）氣壓試驗應(yīng)采用潔凈度與潔凈室等級匹配的惰性氣體或壓縮空氣進行，試驗壓力為設(shè)計壓力的1.15倍。試驗時應(yīng)逐步緩慢增加壓力，當(dāng)壓力升至試驗壓力50%時，如未發(fā)現(xiàn)異常與泄漏，繼續(xù)按試驗壓力的10%逐級升壓，每級穩(wěn)壓3min，直至試驗壓力。穩(wěn)壓10min后，再將壓力降至設(shè)計壓力，停壓時間以查漏工作的需要而定，以發(fā)泡劑檢驗無泄漏為合格。
（3）真空管道的氣壓試驗壓力應(yīng)為0.2MPa。
（4）當(dāng)管道輸送的介質(zhì)為有毒氣體、腐蝕性氣體、可燃氣體時，應(yīng)進行最高工作壓力下的泄漏試驗。對管段之間焊接接頭、管路的分支接頭、閥門的填料、法蘭或螺紋的連接處，包括全部金屬隔膜閥、波紋管閥、調(diào)節(jié)閥、放空閥、排氣閥等，應(yīng)以發(fā)泡劑檢驗不泄漏為合格。經(jīng)過氣壓試驗合格的系統(tǒng)，試驗后未經(jīng)拆卸，該管路系統(tǒng)可不再進行泄漏試驗。
（5）真空管道在強度試驗與泄漏試驗合格后，應(yīng)在系統(tǒng)聯(lián)動運轉(zhuǎn)前，以設(shè)計壓力進行真空度試驗。試驗宜在氣溫變化較小的環(huán)境中進行，試驗時間應(yīng)為24h，增壓率不應(yīng)大于3%。
三、管道系統(tǒng)的吹除
（1）氣體管道各項試驗合格后，應(yīng)使用與潔凈室潔凈度級別匹配的潔凈無油壓縮空氣或高純氮氣吹除管內(nèi)污物，吹除氣流流速應(yīng)大于20m/s，直至末端排出氣體在白紙上無污痕為合格。
（2）管道吹除合格后，應(yīng)再以實際輸送的氣體，在工作壓力下，對管道系統(tǒng)進行吹除，應(yīng)無異常聲音和振動為合格。輸送可燃氣體的管道在啟用之前，應(yīng)用惰性氣體將管內(nèi)原有氣體置換。
四、氣體供給裝置
（1）瓶裝氣體供給裝置應(yīng)安裝在使用潔凈室之外的房間，兩室之間穿墻的管道應(yīng)加套管，并應(yīng)在管道與套管間隙填滿不燃材料并加密封。
（2）裝置出口管道上的安全閥在安裝前應(yīng)進行閥門開啟檢查。開啟壓力、密封壓力和回座壓力應(yīng)符合安全閥性能要求。
（3）集中式真空吸引裝置應(yīng)安裝在遠離潔凈室的建筑物外，安裝時應(yīng)采取有效隔聲防振措施，與其連接的彎管半徑不應(yīng)小于5倍管外徑，過濾清除設(shè)施應(yīng)安在排氣口。
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