有防微振要求的潔凈廠房建筑物結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)根據(jù)建筑物內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝布置及其對防微振有嚴(yán)格要求的部位、設(shè)備的設(shè)置狀況和輔助設(shè)施一公用動(dòng)力設(shè)施的布置以及 振動(dòng)或隔振措施狀況等，并應(yīng)密切配合做建筑結(jié)構(gòu)防微振設(shè)計(jì)。建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)應(yīng)依據(jù)不同行業(yè)、不同工序或不同設(shè)備的要求，按設(shè)計(jì)流程進(jìn)行，建筑結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)內(nèi)容有建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)和主體結(jié)構(gòu)等的防微振設(shè)計(jì)。在國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)防微振工程技術(shù)規(guī)范》中對有微振控制要求的建筑物地基基礎(chǔ)、地面結(jié)構(gòu)、主體結(jié)構(gòu)以及精密設(shè)備儀器的獨(dú)立基礎(chǔ)等的防微振措施作出了較詳細(xì)的規(guī)定：有防微振要求的潔凈廠房等建筑物內(nèi)的設(shè)備布置時(shí)應(yīng)做到，精密設(shè)備及儀器與動(dòng)力設(shè)備的布置較靠近時(shí)，應(yīng)對動(dòng)力設(shè)備采取隔振措施；當(dāng)樓層布置精密設(shè)備或儀器時(shí)，動(dòng)力設(shè)備應(yīng)布置在底層或樓層邊跨， 并應(yīng)在樓層與精密設(shè)備或儀器所在區(qū)域隔離通常不應(yīng)將精密設(shè)備及儀器布置在受電梯振動(dòng)影響的范圍內(nèi)；當(dāng)樓層布置精密設(shè)備及儀器時(shí)，其位置宜位于梁、墻、柱等結(jié)構(gòu)剛度較大的部位或附近。當(dāng)建筑物為多層廠房時(shí)不直設(shè)置起重設(shè)備，若必須設(shè)置 起重設(shè)備時(shí)，直采用懸臂式起重設(shè)備或其他振動(dòng)影響較小的運(yùn)輸工具。設(shè)置在有防微振要求的建筑物內(nèi)的動(dòng)力設(shè)備及產(chǎn)生振動(dòng)的管道進(jìn)入防微振區(qū)域時(shí)，應(yīng)采取隔振措施。
潔凈廠房建筑物的防微振結(jié)構(gòu)形式多樣，通常應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求和建筑物的建筑結(jié)構(gòu)等確定。對建筑物地基基礎(chǔ)的防微振設(shè)計(jì)主要要求：抗震設(shè)防烈度為7度、8度的地區(qū)，建筑物基礎(chǔ)持力層范圍內(nèi)存在承載力特征值分別小于80kPa、100kPa的軟弱黏土層時(shí)， 應(yīng)采用樁基或人工處理復(fù)合地基。采用復(fù)合地基時(shí)，應(yīng)按國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計(jì)規(guī)范》和《建筑地基處理技術(shù)規(guī)范》的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行載荷試驗(yàn)和地基變形驗(yàn)算；防微振廠房同一結(jié)構(gòu)單元的基礎(chǔ)不宜埋置在不同類別的地基土上。這里所指的軟弱黏土層主要是淤泥、淤泥土、沖填土、雜填土或其他高壓縮土層，這類土層支承載力低、壓縮性大，基礎(chǔ)沉降量大，容易產(chǎn)生不均勻沉降，使地坪、樓面、墻體等產(chǎn)生裂縫。精密設(shè)備、儀器有較嚴(yán)格的防微振要求，一般應(yīng)選擇樁基穿透軟弱黏土層 ，若采用人工處理復(fù)合地基時(shí)，處理深度也應(yīng)穿透軟弱黏土層。地面結(jié)構(gòu)或底板結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)應(yīng)該滿足的要求是：集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器制造廠房、納米科技建筑及實(shí)驗(yàn)室應(yīng)按防微振要求設(shè)置厚板式鋼筋混凝土地面。當(dāng)采用天然地基時(shí)，地面結(jié)構(gòu)的厚度不直小于500mm，地基土應(yīng)夯壓密實(shí)，壓實(shí)系數(shù)不得小于0.95。當(dāng)采用樁基支承的結(jié)構(gòu)地面時(shí)，地面結(jié)構(gòu)的厚度不宜小于400mm，對于軟弱土地區(qū)，不直小于500mm；對于欠固結(jié)土，宜采取防止樁間土與地面結(jié)構(gòu)底部脫開的措施；當(dāng)?shù)孛鏋槌L混凝土結(jié)構(gòu)時(shí)，不宜設(shè)置伸縮縫，可采用超長混凝士結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計(jì)措施。
地面或底板結(jié)構(gòu)采用厚板，提高了地面的整體剛度，工程實(shí)踐證明，這對于防微振是非常有效的。當(dāng)采用樁基支承的地面結(jié)構(gòu)時(shí)，由于地面與樁連成了一個(gè)整體，因此其厚度可以適當(dāng)減??；對于欠固結(jié)土，直在澆筑底板結(jié)構(gòu)前，將樁間夯壓密實(shí)。
有防微振控制要求的潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的防微振設(shè)計(jì)通常應(yīng)該符合下面的要求：集成電路制造廠房前工序、液晶顯示器件制造廠房光伏太陽能制造廠房納米科技建筑及各類實(shí)驗(yàn)室等所在建筑物的主體結(jié)構(gòu)宜采用小跨度柱網(wǎng)，工藝設(shè)備層平臺(tái)宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，平臺(tái)與周圍結(jié)構(gòu)之間直設(shè)置隔振縫。工藝設(shè)備層的鋼筋混凝土平臺(tái)-般均采用小跨度柱網(wǎng)，如3.0m、3.6m、4.2m、4.8m ，最大不超過6.0m ，柱網(wǎng)尺寸應(yīng)以0.6m為模數(shù)；為提高鋼筋混凝土平臺(tái)的整體剛度，從而提高其固有振動(dòng)頻率，防微振工藝設(shè)備層平臺(tái)通常采用現(xiàn)澆鋼筋混凝土梁板式或井式樓蓋結(jié)構(gòu)，亦河采用鋼框架組合樓板結(jié)構(gòu)。當(dāng)采用混凝土平臺(tái)時(shí)，其現(xiàn)澆梁、板、 柱截面的最小尺寸應(yīng)該比非防微振工藝設(shè)備層平臺(tái)提高25%~40%，從而提高了工藝設(shè)備層平臺(tái)的整體剛度，工程實(shí)踐表明這對于防微振是十分有效的，現(xiàn)澆鋼筋混凝土平臺(tái)的梁、板、柱截面的最小尺寸。超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計(jì)技術(shù)還應(yīng)加強(qiáng)縱向梁(墻)、板的縱向通長鋼筋，一般縱向框架梁上部的通長鋼筋不應(yīng)小于支座或跨中鋼筋截面面積的1/4，每側(cè)溫度構(gòu)造鋼筋的最小配筋率不宜小于0.2%；混凝土墻體水平縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%。樓板、屋面板縱向鋼筋的最小配筋率不宜小于0.4%，屋面板一般采用雙層配筋，且溫差較大時(shí)應(yīng)適當(dāng)增加配筋。超長混凝土結(jié)構(gòu)無縫設(shè)計(jì)技術(shù)應(yīng)加強(qiáng)保溫隔熱措施，做好屋面和墻面的保溫隔熱層，既是建筑節(jié)能措施，也是降低溫度應(yīng)力的主要途徑，對于潔凈廠房尤為重要。精密設(shè)備及儀器的獨(dú)立基礎(chǔ)對沉降控制的要求比建筑物基礎(chǔ)更為嚴(yán)格，為此，地面設(shè)置的精密設(shè)備及儀器基礎(chǔ)底面應(yīng)設(shè)在堅(jiān)硬土層或基巖上，當(dāng)基礎(chǔ)底面持力層的承載力特征值達(dá)不到300kPa時(shí)，應(yīng)采用樁基礎(chǔ)或人工處理復(fù)合地基。若精密設(shè)備及儀器受中低頻振動(dòng)影響敏感時(shí)，基礎(chǔ)周圍可不設(shè)隔振溝；精密設(shè)備及儀器的基臺(tái)采用框架式支承時(shí)，通常采用鋼筋混凝土框架，臺(tái)板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，其周邊應(yīng)設(shè)隔振縫；工藝設(shè)備層平臺(tái)上設(shè)置的精密設(shè)備、儀器一般用防微振基臺(tái)，臺(tái)板宜采用型鋼混凝土結(jié)構(gòu)，厚度宜大于200mm。
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