無(wú)塵車(chē)間工程項(xiàng)目在竣工完成之后,需要由相關(guān)人員對(duì)整個(gè)無(wú)塵車(chē)間的通風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行風(fēng)量檢測(cè)和風(fēng)速檢測(cè)。檢測(cè)的目的是了解風(fēng)量和風(fēng)速的偏差有多大,以便于工作人員現(xiàn)場(chǎng)調(diào)節(jié),要知道風(fēng)速過(guò)大是會(huì)影響空氣過(guò)濾器的使用壽命以及可能會(huì)將空氣過(guò)濾器吹穿。風(fēng)速過(guò)小又會(huì)直接影響車(chē)間內(nèi)部空氣的循環(huán)從而影響無(wú)塵車(chē)間空氣的潔凈度,下面是賽特凈化設(shè)備有限公司整理并分享的風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)方法,感興趣的可以了解一下。 無(wú)塵車(chē)間風(fēng)量和風(fēng)速的檢測(cè)方法如下: 1、風(fēng)量與風(fēng)速的檢測(cè)務(wù)必最先開(kāi)展,潔凈空調(diào)機(jī)組的各項(xiàng)實(shí)際效果務(wù)必是在設(shè)計(jì)的風(fēng)量風(fēng)速條件下得到。 2、風(fēng)量檢測(cè)前務(wù)必查驗(yàn)風(fēng)機(jī)運(yùn)作是不是一切正常,系統(tǒng)中各構(gòu)件安裝是不是正確無(wú)誤,有無(wú)障礙和問(wèn)題,所有的閥門(mén)應(yīng)固定不動(dòng)在一定的開(kāi)啟位置上,且一定要實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口和風(fēng)管的規(guī)格尺寸。 3、檢測(cè)室內(nèi)數(shù)字微風(fēng)速儀器的最小刻度或讀值不可超過(guò)0.02m/s,通常可以用熱球式風(fēng)速儀,必須測(cè)得分速度時(shí),應(yīng)選用超聲波三維風(fēng)速計(jì)。 4、針對(duì)單向流無(wú)塵車(chē)間,可運(yùn)用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法明確送風(fēng)量,垂直單向流無(wú)塵車(chē)間的測(cè)定截面取距室內(nèi)地坪0.8m的無(wú)阻隔面(孔板、格柵除外)的水平截面,若有阻隔面,該測(cè)定截面應(yīng)拉高至阻隔面以上0.25m;水平單向流無(wú)塵車(chē)間取距送風(fēng)面0.5m的垂直于室內(nèi)地坪的截面,截面上測(cè)點(diǎn)間隔不可超過(guò)1m,...
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潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)首先是空調(diào)系統(tǒng),因此,一般空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施,如圍護(hù)結(jié)構(gòu)保溫、系統(tǒng)變流量、排風(fēng)熱回收、選用高效制冷機(jī)、水泵風(fēng)機(jī)設(shè)備等,都可以適用于潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)和改造。同時(shí),潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)有自己的特點(diǎn),也就有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點(diǎn)和方式。 1 潔凈風(fēng)量與空調(diào)風(fēng)量分開(kāi) 潔凈室送風(fēng)的功能,一是空調(diào)(空氣進(jìn)行溫、濕處理,滿(mǎn)足潔凈室的溫、濕度要求);二是凈化(空氣過(guò)濾滿(mǎn)足潔凈室的潔凈度要求)。一般情況下凈化風(fēng)量大大超過(guò)空調(diào)風(fēng)量。如果讓空調(diào)送風(fēng)同時(shí)起到空調(diào)和凈化的作用,即空調(diào)風(fēng)量和凈化風(fēng)量不分開(kāi),所有的回風(fēng)都要經(jīng)過(guò)空調(diào)箱集中處理。此非常大風(fēng)量經(jīng)過(guò)空氣處理設(shè)備時(shí),阻力會(huì)很大,風(fēng)機(jī)耗能急劇增大。 同時(shí),為了除濕,所有回風(fēng)都要處理到露點(diǎn)狀態(tài),后為了不使室內(nèi)溫度過(guò)低,還需對(duì)送風(fēng)進(jìn)行再熱。冷熱抵消,造成不必要的浪費(fèi)。而如果把空調(diào)和凈化兩部分風(fēng)量分開(kāi)處理,凈化風(fēng)量就只進(jìn)行過(guò)濾處理,可大大縮短凈化風(fēng)量輸送管道長(zhǎng)度;而對(duì)于空調(diào)風(fēng)量,由于風(fēng)量變小,可以節(jié)省空氣冷熱處理,并且同時(shí)可以減小輸送斷面和輸送耗能。 在常見(jiàn)的潔凈空調(diào)送風(fēng)方式中,集中送風(fēng)方式、隧道式送風(fēng)方式都沒(méi)有很好地將空調(diào)風(fēng)量與潔凈風(fēng)量分開(kāi)。為了方便空調(diào)和凈化功能的分離,可充分利用房間結(jié)構(gòu)就近完成。利用房間夾層將大部分潔凈風(fēng)量直接送至頂層的高效過(guò)濾器處,而無(wú)需離開(kāi)潔凈室,從而降低了潔凈風(fēng)量的輸送能...
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芯片有著很強(qiáng)動(dòng)力和潛力,隨著國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,對(duì)芯片需求不斷增多,從LED/半導(dǎo)體/線(xiàn)路板芯片制備到器件封裝,對(duì)生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求,空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。很多半導(dǎo)體工業(yè)都需要用到無(wú)潔凈室。今天小編就來(lái)詳細(xì)介紹一下半導(dǎo)體集成電路潔凈室的原理還有標(biāo)準(zhǔn)是什么?以及日常維護(hù)事項(xiàng),一起往下看吧!【潔凈室】又稱(chēng)為【無(wú)塵室】,是將一定空間范圍內(nèi)之空氣的微塵粒子、有害氣體、細(xì)菌等污染物排除于外,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi),而給予特別設(shè)計(jì)之房間。也就是說(shuō)這個(gè)受控的房間內(nèi)之微塵粒子相當(dāng)稀少。根據(jù)國(guó)標(biāo)GB50073—2013,潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)為1~9級(jí)。在具體實(shí)踐中,常參考美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)FS 209E,其中的空氣潔凈度等級(jí)有1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)等,如表1-1所示。潔凈室應(yīng)該具備哪些要素?基本上潔凈室應(yīng)該要具備以下的功能:1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3、能控制溫度及濕度。這是因?yàn)槊荛]的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度,另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長(zhǎng)。其次,濕度過(guò)大也會(huì)影響到電子產(chǎn)品的品質(zhì)。4、能調(diào)節(jié)壓力。這是為了要控制無(wú)塵室內(nèi)為正壓或負(fù)壓。5、能調(diào)節(jié)溫度。6、能防止靜電。這是一定要的,電子產(chǎn)品怕靜電了,尤其是還未封裝的晶圓...
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1微電子廠房潔凈是暖通空調(diào)設(shè)計(jì)原因及方法分析1. 1 氣流組織方式垂直單向流為潔凈室內(nèi)氣流流型,風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組在高效過(guò)濾器的作用下可以對(duì)空氣進(jìn)行預(yù)處理,確??諝膺_(dá)標(biāo)后再送入室內(nèi)。微電子廠潔凈廠房和生產(chǎn)工藝并不全都適合風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組送風(fēng)模式,但是此種送風(fēng)模式因其具備一定的優(yōu)勢(shì)被越來(lái)越多的微電子廠房潔凈室所使用。因?yàn)轱L(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組送風(fēng)模式下潔凈室內(nèi)壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于靜壓箱內(nèi)壓力,塵粒從靜壓箱向室內(nèi)滲透的情況較為少見(jiàn)。但是其他送風(fēng)模式下則需要采取更為復(fù)雜的方法,如接觸填料密封等方法來(lái)確保潔凈室頂棚的密封性,因此達(dá)不到負(fù)壓密封的要求。這是導(dǎo)致越來(lái)越多的微電子廠潔凈室采用風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組送風(fēng)模式的主要原因。此外,微電子廠潔凈室工藝的更新速度和調(diào)整速度均較快,工作人員可以對(duì)風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組進(jìn)行增減,在控制其數(shù)量的基礎(chǔ)上確保潔凈室潔凈度滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝的需求。由此可見(jiàn),風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組送風(fēng)模式靈活性較高,與其他送風(fēng)模式相比更具優(yōu)勢(shì)。但是風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元機(jī)組送風(fēng)模式也有一定的不足,該送風(fēng)模式下設(shè)備需要在吊頂上安裝,因此會(huì)產(chǎn)生較大的噪音和振動(dòng),期間設(shè)備安裝成本較高,這也是微電子廠潔凈室暖通空調(diào)設(shè)計(jì)需要考慮的問(wèn)題。1. 2 空調(diào)負(fù)荷計(jì)算估算是潔凈室內(nèi)冷負(fù)荷計(jì)算的主要方式,其中估算指標(biāo)包括生產(chǎn)工藝、操作人員數(shù)量以及圍護(hù)結(jié)構(gòu)等。估算出來(lái)的潔凈室主生產(chǎn)區(qū)和光刻區(qū)冷負(fù)荷指標(biāo)分別為 450...
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每個(gè)潔凈室必須有各自文件形式的規(guī)定及工作步驟。下面提到的一般性規(guī)定,適用于所有的潔凈室,而不專(zhuān)門(mén)考慮在某一特定潔凈室內(nèi)進(jìn)行的特定工作步驟的具體特點(diǎn),也沒(méi)有考慮潔凈設(shè)備和潔凈服裝的狀況。 1、潔凈室內(nèi)只能有必要人員,室內(nèi)人員越多,污染水平越高。 2、只允許經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的人員在潔凈室工作,只有那些具備特定工作所需技能的人員,才允許進(jìn)入潔凈室。 3、不允許工作人員將任何可能產(chǎn)生污染的東西帶入潔凈室。只有潔凈室內(nèi)工作所必須的物品,才允許帶入并且準(zhǔn)備這些 時(shí),要采取防污染措施。潔凈室內(nèi)不允許有下述物品: 食品、飲料、糖果、口香糖 、瓶瓶罐罐(非用品) 、香煙、煙斗、鼻煙 、收音機(jī)、唱片機(jī)、袖珍錄音機(jī) 、用木材、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品 、非潔凈室專(zhuān)用紙、包括報(bào)紙、雜志、書(shū)籍、紙巾 、含鉛鉛筆和橡皮可釋放粒子的書(shū)寫(xiě)用品,比如纖維筆 。4、須隨手關(guān)門(mén)。開(kāi)門(mén)會(huì)使室內(nèi)壓力降低,這會(huì)造成潔凈室氣流的不良運(yùn)動(dòng)。 5、開(kāi)關(guān)門(mén)的動(dòng)作都要慢??焖訇P(guān)門(mén)會(huì)增加從潔凈程度較低區(qū)域流入潔凈室的空氣量。為控制開(kāi)關(guān)門(mén)的速度,可以在門(mén)上安裝閉門(mén)器或彈簧。 6、通過(guò)氣閘的兩扇門(mén)時(shí),只有在第一道門(mén)完全關(guān)閉后,再打開(kāi)第二道門(mén)。所謂的聯(lián)鎖裝置就是使兩道門(mén)不能同時(shí)打開(kāi)。 ...
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一、概述臨床基因擴(kuò)增實(shí)驗(yàn)又稱(chēng) PCR實(shí)驗(yàn),是專(zhuān)門(mén)用來(lái)檢驗(yàn)艾滋病、乙型肝炎、禽疫病等病毒感染性疾病的一種檢測(cè)手段。它可以通過(guò)將病毒體內(nèi)所含的基因進(jìn)行擴(kuò)增的方法,測(cè)出一些病毒含量不高的感染者體內(nèi)是否含有特定的病毒。由于該檢測(cè)方法可以測(cè)出普通檢驗(yàn)難以檢測(cè)出的病毒并具有靈敏度高、特異性高、快捷、對(duì)樣品要求低等優(yōu)點(diǎn),因此被臨床醫(yī)生廣為認(rèn)可,已廣泛應(yīng)用于醫(yī)院的臨床診斷和各防疫檢測(cè)部門(mén)的禽疫病診斷。但是,這種實(shí)驗(yàn)需要有能保證絕對(duì)安全、配置合理的實(shí)驗(yàn)室和非常規(guī)范的操作為前提。近年來(lái)對(duì)臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)越來(lái)越得到重視,因?yàn)樗鼘?duì)檢測(cè)結(jié)果的可靠性、準(zhǔn)確性和安全性起到至關(guān)重要的作用。本文主要從臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室的平面布局,空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、氣流控制和污染的防制幾個(gè)方面對(duì)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)中的主要特點(diǎn)進(jìn)行了闡述。臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)的核心問(wèn)題是如何避免污染。因此,實(shí)驗(yàn)室的平面布局、空調(diào)通風(fēng) 系統(tǒng)設(shè)計(jì)、氣流控制等都是圍繞這個(gè)核心問(wèn)題進(jìn)行的。下面就對(duì)這幾個(gè)方面分別進(jìn)說(shuō)明。二、 PCR實(shí)驗(yàn)室平面布局臨床基因擴(kuò)增檢驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室原則上分為四個(gè)單獨(dú)的工作區(qū)域:試劑貯存和準(zhǔn)備區(qū)、標(biāo)本制備區(qū)、擴(kuò)增反應(yīng)混合物配制和擴(kuò)增區(qū)、擴(kuò)增產(chǎn)物分析區(qū)。為避免交叉污染,進(jìn)入各個(gè)工作區(qū)域必須嚴(yán)格遵循單一方向進(jìn)行,即只能從試劑貯存和準(zhǔn)備區(qū)→標(biāo)本制備區(qū)→擴(kuò)增反應(yīng)混合物配制和擴(kuò)增區(qū)→擴(kuò)增產(chǎn)物分析區(qū)。各實(shí)驗(yàn)區(qū)之間...
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在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無(wú)菌規(guī)范的房間。由于制造業(yè)技術(shù)升級(jí)對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的嚴(yán)苛要求,潔凈實(shí)驗(yàn)室也被稱(chēng)為“高端制造業(yè)的守護(hù)神”。 什么是潔凈室? 典型的潔凈室 潔凈室又可稱(chēng)作無(wú)塵室(Cleanroom),通常用作專(zhuān)業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學(xué)研究的一部分,包括制造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計(jì)是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說(shuō),潔凈室有一個(gè)受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來(lái)規(guī)定。潔凈室也可指任何給定的容納空間,在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參數(shù),如溫度,濕度和壓力。 在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無(wú)菌規(guī)范(即EU和PIC/S GMP指南附件1以及當(dāng)?shù)匦l(wèi)生當(dāng)局要求的其他標(biāo)準(zhǔn)和指南)中定義的GMP規(guī)范要求的房間,是將普通房間轉(zhuǎn)換為潔凈室所需的工程設(shè)計(jì)、制造、完成和操作控制(控制策略)的組合。很多行業(yè)會(huì)使用無(wú)塵室,只要是小顆粒會(huì)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生不利影響的地方都會(huì)有潔凈室的身影。它們的尺寸和復(fù)雜度各不相同,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,制藥,生物技術(shù),醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)等行業(yè),以及航空航天,光學(xué),軍事和能源部中常見(jiàn)的關(guān)鍵工藝制造。 潔凈室的發(fā)展歷程 現(xiàn)代無(wú)塵室是由美國(guó)物理學(xué)家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的?;萏胤茽?..
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工業(yè)潔凈室與醫(yī)藥生物潔凈室的最核心最主要的區(qū)別:1.工業(yè)潔凈室只對(duì)潔凈度進(jìn)行監(jiān)測(cè),不需要監(jiān)測(cè) 生命微粒,醫(yī)藥生物潔凈室不緊要對(duì)潔凈度進(jìn)行監(jiān)測(cè),還需要監(jiān)測(cè) 生命微粒。2.工業(yè)潔凈室的人員更衣流程只需要換鞋-更衣-風(fēng)淋室就可以進(jìn)入潔凈室,醫(yī)藥生物潔凈室的人員更衣流程需要換鞋-一次更衣-洗手-二次更衣-手消毒-氣閘室/風(fēng)淋室才可以進(jìn)入潔凈室,比工業(yè)潔凈室多了一次更衣和洗手消毒。1 、工業(yè)潔凈室? 凈化工程是一個(gè)應(yīng)用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)。? 目前級(jí)別最高的當(dāng)屬航天航空的航空倉(cāng),基本是屬于1級(jí),屬于特殊領(lǐng)域,面積相對(duì)較小。? 根據(jù)行業(yè)的精密與無(wú)塵要求,等級(jí)差別也較大。? 目前在電子信息、半導(dǎo)體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應(yīng)用。? 工業(yè) 類(lèi)潔凈室操作人員進(jìn)入潔凈區(qū)的更衣流程是: 換鞋-- 更衣-- 風(fēng)淋 。工業(yè)潔凈室的具體行業(yè):? 二極管,三極管;? LED發(fā)光材料及芯片;? 半導(dǎo)體(IC芯片,處理器等);? 線(xiàn)路板;? 手機(jī)玻璃;? OLED,LCD屏幕;? 高精密機(jī)械,儀器的研發(fā)及生產(chǎn)(激光,光學(xué),高精度探測(cè)等設(shè)備儀器);? 電池工業(yè)(鋰電池,太陽(yáng)能電池等);? 印刷噴涂工業(yè)(高精度的無(wú)塵印刷噴涂,食品醫(yī)藥用的潔凈包裝材料印刷等等);2 、醫(yī)藥生物潔...
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潔凈設(shè)施是保證藥品、醫(yī)療器械及直接接觸藥品的包裝材料生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量和醫(yī)院制劑室藥品配制質(zhì)量,防止生產(chǎn)(配制)環(huán)境對(duì)產(chǎn)品污染的基本條件,生產(chǎn)(配制)區(qū)域必須滿(mǎn)足規(guī)定的環(huán)境參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。為保證生產(chǎn)企業(yè)和制劑室的潔凈室(區(qū))性能能持續(xù)的符合潔凈室的相關(guān)要求,新建潔凈室應(yīng)進(jìn)行工程驗(yàn)收,工程驗(yàn)收應(yīng)分竣工驗(yàn)收和綜合性能全面評(píng)定兩個(gè)階段進(jìn)行,竣工驗(yàn)收的檢驗(yàn)和調(diào)整應(yīng)在空態(tài)或靜態(tài)下進(jìn)行,綜合性能全面評(píng)定的檢測(cè)狀態(tài)由建設(shè)、設(shè)計(jì)和施工單位三方協(xié)商確定,然后由有資質(zhì)的第三方進(jìn)行檢測(cè)。投入使用的潔凈室還應(yīng)定期對(duì)潔凈室(區(qū))開(kāi)展性能檢測(cè)工作。對(duì)一些新建和改建的潔凈室進(jìn)行測(cè)試,分析討論潔凈室在運(yùn)行及系統(tǒng)設(shè)計(jì)中存在的一些問(wèn)題。1、潔凈室的設(shè)計(jì)、施工超標(biāo)準(zhǔn)(1)對(duì)有萬(wàn)級(jí)到30萬(wàn)級(jí)要求的由多間潔凈室組成的企業(yè),設(shè)計(jì)、承建方統(tǒng)一按萬(wàn)級(jí)要求去做,這樣設(shè)計(jì)、施工就容易多了,系統(tǒng)調(diào)試也變得相對(duì)容易。(2)提高潔凈室的潔凈級(jí)別,如按《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》(1998年修訂)的要求,口服固體制劑的生產(chǎn)車(chē)間達(dá)到30萬(wàn)級(jí)即可,但生產(chǎn)企業(yè)卻按10萬(wàn)進(jìn)行設(shè)計(jì)、施工、驗(yàn)收;潔凈室的面積過(guò)大,房間高度過(guò)高。企業(yè)為了今后的發(fā)展可以預(yù)留一些房間,但平時(shí)可不開(kāi)空氣凈化系統(tǒng)。(3)除對(duì)工藝有特殊要求的潔凈室,如提取間、烘干間等,潔凈室高度一般在2.6米到3.0米即可,但有的企業(yè)不知何種原因整個(gè)車(chē)間統(tǒng)一建成4.0米高。應(yīng)根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)?..
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什么是潔凈室?典型的潔凈室潔凈室又可稱(chēng)作無(wú)塵室(Cleanroom),通常用作專(zhuān)業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學(xué)研究的一部分,包括制造藥品,集成電路,CRT,LCD,OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計(jì)是為了保持極低水平的微粒,如灰塵,空氣中的生物體,或汽化的微粒。確切地說(shuō),潔凈室有一個(gè)受控的污染水平,該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來(lái)規(guī)定。潔凈室也可指任何給定容納空間,在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參數(shù),如溫度、濕度和壓力。在藥學(xué)意義上,潔凈室是指符合GMP無(wú)菌規(guī)范(即EU和PIC/S GMP指南附件1以及當(dāng)?shù)匦l(wèi)生當(dāng)局要求的其他標(biāo)準(zhǔn)和指南)中定義的GMP規(guī)范要求的房間,是將普通房間轉(zhuǎn)換為潔凈室所需的工程設(shè)計(jì)、制造、完成和操作控制(控制策略)的組合。很多行業(yè)會(huì)使用無(wú)塵室,只要是小顆粒會(huì)對(duì)生產(chǎn)過(guò)程產(chǎn)生不利影響的地方都會(huì)有潔凈室的身影。它們的尺寸和復(fù)雜度各不相同,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,制藥,生物技術(shù),醫(yī)療設(shè)備和生命科學(xué)等行業(yè),以及航空航天,光學(xué),軍事和能源部中常見(jiàn)的關(guān)鍵工藝制造。潔凈室的發(fā)展歷程現(xiàn)代無(wú)塵室是由美國(guó)物理學(xué)家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的?;萏胤茽柕伦鳛樯5蟻唶?guó)家實(shí)驗(yàn)室的雇員,于1966年為無(wú)塵室設(shè)計(jì)了最初的設(shè)計(jì)方案。在惠特菲爾德發(fā)明之前,早期的無(wú)塵室經(jīng)常遇到顆粒和不可預(yù)測(cè)的氣流的問(wèn)題。Whitfield設(shè)計(jì)的無(wú)塵室具有恒定的且經(jīng)過(guò)嚴(yán)格過(guò)濾的氣流來(lái)保持...
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2022
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