潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)首先是空調(diào)系統(tǒng)，因此，一般空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能措施，如圍護結(jié)構(gòu)保溫、系統(tǒng)變流量、排風熱回收、選用高效制冷機、水泵風機設(shè)備等，都可以適用于潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計和改造。同時，潔凈室廠房空調(diào)系統(tǒng)有自己的特點，也就有自己的系統(tǒng)節(jié)能特點和方式。 1 潔凈風量與空調(diào)風量分開 潔凈室送風的功能，一是空調(diào)（空氣進行溫、濕處理，滿足潔凈室的溫、濕度要求）；二是凈化（空氣過濾滿足潔凈室的潔凈度要求）。一般情況下凈化風量大大超過空調(diào)風量。如果讓空調(diào)送風同時起到空調(diào)和凈化的作用，即空調(diào)風量和凈化風量不分開，所有的回風都要經(jīng)過空調(diào)箱集中處理。此非常大風量經(jīng)過空氣處理設(shè)備時，阻力會很大，風機耗能急劇增大。 同時，為了除濕，所有回風都要處理到露點狀態(tài)，后為了不使室內(nèi)溫度過低，還需對送風進行再熱。冷熱抵消，造成不必要的浪費。而如果把空調(diào)和凈化兩部分風量分開處理，凈化風量就只進行過濾處理，可大大縮短凈化風量輸送管道長度；而對于空調(diào)風量，由于風量變小，可以節(jié)省空氣冷熱處理，并且同時可以減小輸送斷面和輸送耗能。 在常見的潔凈空調(diào)送風方式中，集中送風方式、隧道式送風方式都沒有很好地將空調(diào)風量與潔凈風量分開。為了方便空調(diào)和凈化功能的分離，可充分利用房間結(jié)構(gòu)就近完成。利用房間夾層將大部分潔凈風量直接送至頂層的高效過濾器處，而無需離開潔凈室，從而降低了潔凈風量的輸送能...
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芯片有著很強動力和潛力，隨著國內(nèi)的半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對芯片需求不斷增多，從LED/半導體/線路板芯片制備到器件封裝，對生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求，空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì)。很多半導體工業(yè)都需要用到無潔凈室。今天小編就來詳細介紹一下半導體集成電路潔凈室的原理還有標準是什么？以及日常維護事項，一起往下看吧！【潔凈室】又稱為【無塵室】，是將一定空間范圍內(nèi)之空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等污染物排除于外，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，而給予特別設(shè)計之房間。也就是說這個受控的房間內(nèi)之微塵粒子相當稀少。根據(jù)國標GB50073—2013，潔凈室的空氣潔凈度等級為1~9級。在具體實踐中，常參考美國標準FS 209E，其中的空氣潔凈度等級有1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級等，如表1-1所示。潔凈室應該具備哪些要素？基本上潔凈室應該要具備以下的功能：1、能去除空氣中漂浮之微塵粒子。2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。3、能控制溫度及濕度。這是因為密閉的環(huán)境需要溫度及濕度控制以符合人體舒適度，另一方面溫度及濕度也可以控制微生物的生長。其次，濕度過大也會影響到電子產(chǎn)品的品質(zhì)。4、能調(diào)節(jié)壓力。這是為了要控制無塵室內(nèi)為正壓或負壓。5、能調(diào)節(jié)溫度。6、能防止靜電。這是一定要的，電子產(chǎn)品怕靜電了，尤其是還未封裝的晶圓...
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1微電子廠房潔凈是暖通空調(diào)設(shè)計原因及方法分析1. 1 氣流組織方式垂直單向流為潔凈室內(nèi)氣流流型，風機過濾單元機組在高效過濾器的作用下可以對空氣進行預處理，確?？諝膺_標后再送入室內(nèi)。微電子廠潔凈廠房和生產(chǎn)工藝并不全都適合風機過濾單元機組送風模式，但是此種送風模式因其具備一定的優(yōu)勢被越來越多的微電子廠房潔凈室所使用。因為風機過濾單元機組送風模式下潔凈室內(nèi)壓力遠遠高于靜壓箱內(nèi)壓力，塵粒從靜壓箱向室內(nèi)滲透的情況較為少見。但是其他送風模式下則需要采取更為復雜的方法，如接觸填料密封等方法來確保潔凈室頂棚的密封性，因此達不到負壓密封的要求。這是導致越來越多的微電子廠潔凈室采用風機過濾單元機組送風模式的主要原因。此外，微電子廠潔凈室工藝的更新速度和調(diào)整速度均較快，工作人員可以對風機過濾單元機組進行增減，在控制其數(shù)量的基礎(chǔ)上確保潔凈室潔凈度滿足生產(chǎn)工藝的需求。由此可見，風機過濾單元機組送風模式靈活性較高，與其他送風模式相比更具優(yōu)勢。但是風機過濾單元機組送風模式也有一定的不足，該送風模式下設(shè)備需要在吊頂上安裝，因此會產(chǎn)生較大的噪音和振動，期間設(shè)備安裝成本較高，這也是微電子廠潔凈室暖通空調(diào)設(shè)計需要考慮的問題。1. 2 空調(diào)負荷計算估算是潔凈室內(nèi)冷負荷計算的主要方式，其中估算指標包括生產(chǎn)工藝、操作人員數(shù)量以及圍護結(jié)構(gòu)等。估算出來的潔凈室主生產(chǎn)區(qū)和光刻區(qū)冷負荷指標分別為 450...
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每個潔凈室必須有各自文件形式的規(guī)定及工作步驟。下面提到的一般性規(guī)定，適用于所有的潔凈室，而不專門考慮在某一特定潔凈室內(nèi)進行的特定工作步驟的具體特點，也沒有考慮潔凈設(shè)備和潔凈服裝的狀況。 1、潔凈室內(nèi)只能有必要人員，室內(nèi)人員越多，污染水平越高。 2、只允許經(jīng)過培訓的人員在潔凈室工作，只有那些具備特定工作所需技能的人員，才允許進入潔凈室。 3、不允許工作人員將任何可能產(chǎn)生污染的東西帶入潔凈室。只有潔凈室內(nèi)工作所必須的物品，才允許帶入并且準備這些 時，要采取防污染措施。潔凈室內(nèi)不允許有下述物品： 食品、飲料、糖果、口香糖 、瓶瓶罐罐（非用品） 、香煙、煙斗、鼻煙 、收音機、唱片機、袖珍錄音機 、用木材、橡膠、紙、皮革、棉花及其他天然材料制成的物品 、非潔凈室專用紙、包括報紙、雜志、書籍、紙巾 、含鉛鉛筆和橡皮可釋放粒子的書寫用品，比如纖維筆 。4、須隨手關(guān)門。開門會使室內(nèi)壓力降低，這會造成潔凈室氣流的不良運動。 5、開關(guān)門的動作都要慢。快速關(guān)門會增加從潔凈程度較低區(qū)域流入潔凈室的空氣量。為控制開關(guān)門的速度，可以在門上安裝閉門器或彈簧。 6、通過氣閘的兩扇門時，只有在第一道門完全關(guān)閉后，再打開第二道門。所謂的聯(lián)鎖裝置就是使兩道門不能同時打開。 &#...
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一、概述臨床基因擴增實驗又稱 PCR實驗，是專門用來檢驗艾滋病、乙型肝炎、禽疫病等病毒感染性疾病的一種檢測手段。它可以通過將病毒體內(nèi)所含的基因進行擴增的方法，測出一些病毒含量不高的感染者體內(nèi)是否含有特定的病毒。由于該檢測方法可以測出普通檢驗難以檢測出的病毒并具有靈敏度高、特異性高、快捷、對樣品要求低等優(yōu)點，因此被臨床醫(yī)生廣為認可，已廣泛應用于醫(yī)院的臨床診斷和各防疫檢測部門的禽疫病診斷。但是，這種實驗需要有能保證絕對安全、配置合理的實驗室和非常規(guī)范的操作為前提。近年來對臨床基因擴增檢驗實驗室的建設(shè)越來越得到重視，因為它對檢測結(jié)果的可靠性、準確性和安全性起到至關(guān)重要的作用。本文主要從臨床基因擴增檢驗實驗室的平面布局，空調(diào)通風系統(tǒng)設(shè)計、氣流控制和污染的防制幾個方面對實驗室設(shè)計中的主要特點進行了闡述。臨床基因擴增檢驗實驗室設(shè)計的核心問題是如何避免污染。因此，實驗室的平面布局、空調(diào)通風 系統(tǒng)設(shè)計、氣流控制等都是圍繞這個核心問題進行的。下面就對這幾個方面分別進說明。二、 PCR實驗室平面布局臨床基因擴增檢驗實驗室原則上分為四個單獨的工作區(qū)域：試劑貯存和準備區(qū)、標本制備區(qū)、擴增反應混合物配制和擴增區(qū)、擴增產(chǎn)物分析區(qū)。為避免交叉污染，進入各個工作區(qū)域必須嚴格遵循單一方向進行，即只能從試劑貯存和準備區(qū)→標本制備區(qū)→擴增反應混合物配制和擴增區(qū)→擴增產(chǎn)物分析區(qū)。各實驗區(qū)之間...
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在藥學意義上，潔凈室是指符合GMP無菌規(guī)范的房間。由于制造業(yè)技術(shù)升級對生產(chǎn)環(huán)境的嚴苛要求，潔凈實驗室也被稱為“高端制造業(yè)的守護神”。 什么是潔凈室？ 典型的潔凈室 潔凈室又可稱作無塵室（Cleanroom），通常用作專業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學研究的一部分，包括制造藥品，集成電路，CRT，LCD，OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計是為了保持極低水平的微粒，如灰塵，空氣中的生物體，或汽化的微粒。確切地說，潔凈室有一個受控的污染水平，該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來規(guī)定。潔凈室也可指任何給定的容納空間，在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參數(shù)，如溫度，濕度和壓力。 在藥學意義上，潔凈室是指符合GMP無菌規(guī)范（即EU和PIC/S GMP指南附件1以及當?shù)匦l(wèi)生當局要求的其他標準和指南）中定義的GMP規(guī)范要求的房間，是將普通房間轉(zhuǎn)換為潔凈室所需的工程設(shè)計、制造、完成和操作控制（控制策略）的組合。很多行業(yè)會使用無塵室，只要是小顆粒會對生產(chǎn)過程產(chǎn)生不利影響的地方都會有潔凈室的身影。它們的尺寸和復雜度各不相同，廣泛應用于半導體制造，制藥，生物技術(shù)，醫(yī)療設(shè)備和生命科學等行業(yè)，以及航空航天，光學，軍事和能源部中常見的關(guān)鍵工藝制造。 潔凈室的發(fā)展歷程 現(xiàn)代無塵室是由美國物理學家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的?；萏胤茽?..
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工業(yè)潔凈室與醫(yī)藥生物潔凈室的最核心最主要的區(qū)別：1.工業(yè)潔凈室只對潔凈度進行監(jiān)測，不需要監(jiān)測 生命微粒,醫(yī)藥生物潔凈室不緊要對潔凈度進行監(jiān)測，還需要監(jiān)測 生命微粒。2.工業(yè)潔凈室的人員更衣流程只需要換鞋-更衣-風淋室就可以進入潔凈室，醫(yī)藥生物潔凈室的人員更衣流程需要換鞋-一次更衣-洗手-二次更衣-手消毒-氣閘室/風淋室才可以進入潔凈室，比工業(yè)潔凈室多了一次更衣和洗手消毒。1 、工業(yè)潔凈室? 凈化工程是一個應用行業(yè)非常廣泛的基礎(chǔ)性配套產(chǎn)業(yè)。? 目前級別最高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊領(lǐng)域，面積相對較小。? 根據(jù)行業(yè)的精密與無塵要求，等級差別也較大。? 目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物工程、航天航空、汽車噴涂等眾多行業(yè)均有應用。? 工業(yè) 類潔凈室操作人員進入潔凈區(qū)的更衣流程是： 換鞋-- 更衣-- 風淋 。工業(yè)潔凈室的具體行業(yè)：? 二極管，三極管；? LED發(fā)光材料及芯片；? 半導體（IC芯片，處理器等）；? 線路板；? 手機玻璃；? OLED,LCD屏幕；? 高精密機械，儀器的研發(fā)及生產(chǎn)（激光，光學，高精度探測等設(shè)備儀器）；? 電池工業(yè)(鋰電池，太陽能電池等）；? 印刷噴涂工業(yè)(高精度的無塵印刷噴涂，食品醫(yī)藥用的潔凈包裝材料印刷等等）；2 、醫(yī)藥生物潔...
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潔凈設(shè)施是保證藥品、醫(yī)療器械及直接接觸藥品的包裝材料生產(chǎn)企業(yè)產(chǎn)品質(zhì)量和醫(yī)院制劑室藥品配制質(zhì)量，防止生產(chǎn)（配制）環(huán)境對產(chǎn)品污染的基本條件，生產(chǎn)（配制）區(qū)域必須滿足規(guī)定的環(huán)境參數(shù)標準。為保證生產(chǎn)企業(yè)和制劑室的潔凈室（區(qū)）性能能持續(xù)的符合潔凈室的相關(guān)要求，新建潔凈室應進行工程驗收，工程驗收應分竣工驗收和綜合性能全面評定兩個階段進行，竣工驗收的檢驗和調(diào)整應在空態(tài)或靜態(tài)下進行，綜合性能全面評定的檢測狀態(tài)由建設(shè)、設(shè)計和施工單位三方協(xié)商確定，然后由有資質(zhì)的第三方進行檢測。投入使用的潔凈室還應定期對潔凈室（區(qū)）開展性能檢測工作。對一些新建和改建的潔凈室進行測試，分析討論潔凈室在運行及系統(tǒng)設(shè)計中存在的一些問題。1、潔凈室的設(shè)計、施工超標準（1）對有萬級到30萬級要求的由多間潔凈室組成的企業(yè)，設(shè)計、承建方統(tǒng)一按萬級要求去做，這樣設(shè)計、施工就容易多了，系統(tǒng)調(diào)試也變得相對容易。（2）提高潔凈室的潔凈級別，如按《藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范》（1998年修訂）的要求，口服固體制劑的生產(chǎn)車間達到30萬級即可，但生產(chǎn)企業(yè)卻按10萬進行設(shè)計、施工、驗收；潔凈室的面積過大，房間高度過高。企業(yè)為了今后的發(fā)展可以預留一些房間，但平時可不開空氣凈化系統(tǒng)。（3）除對工藝有特殊要求的潔凈室，如提取間、烘干間等，潔凈室高度一般在2.6米到3.0米即可，但有的企業(yè)不知何種原因整個車間統(tǒng)一建成4.0米高。應根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)?..
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什么是潔凈室？典型的潔凈室潔凈室又可稱作無塵室（Cleanroom），通常用作專業(yè)工業(yè)生產(chǎn)或科學研究的一部分，包括制造藥品，集成電路，CRT，LCD，OLED和microLED顯示器等。潔凈室的設(shè)計是為了保持極低水平的微粒，如灰塵，空氣中的生物體，或汽化的微粒。確切地說，潔凈室有一個受控的污染水平，該水平由在指定的顆粒尺寸下每立方米的顆粒數(shù)來規(guī)定。潔凈室也可指任何給定容納空間，在該空間中設(shè)置了減少微粒污染和控制其他環(huán)境參數(shù)，如溫度、濕度和壓力。在藥學意義上，潔凈室是指符合GMP無菌規(guī)范（即EU和PIC/S GMP指南附件1以及當?shù)匦l(wèi)生當局要求的其他標準和指南）中定義的GMP規(guī)范要求的房間，是將普通房間轉(zhuǎn)換為潔凈室所需的工程設(shè)計、制造、完成和操作控制（控制策略）的組合。很多行業(yè)會使用無塵室，只要是小顆粒會對生產(chǎn)過程產(chǎn)生不利影響的地方都會有潔凈室的身影。它們的尺寸和復雜度各不相同，廣泛應用于半導體制造，制藥，生物技術(shù)，醫(yī)療設(shè)備和生命科學等行業(yè)，以及航空航天，光學，軍事和能源部中常見的關(guān)鍵工藝制造。潔凈室的發(fā)展歷程現(xiàn)代無塵室是由美國物理學家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的?；萏胤茽柕伦鳛樯５蟻唶覍嶒炇业墓蛦T，于1966年為無塵室設(shè)計了最初的設(shè)計方案。在惠特菲爾德發(fā)明之前，早期的無塵室經(jīng)常遇到顆粒和不可預測的氣流的問題。Whitfield設(shè)計的無塵室具有恒定的且經(jīng)過嚴格過濾的氣流來保持...
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圖1 常用的一級RO+二級EDI+MB 電子I級超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度高，有機物含量高，電導率高（小于1000μs/cm），要求產(chǎn)水電阻率18～18.2MΩ·cm的超純水系統(tǒng)圖2常用的一級RO+二級EDI電子Ⅱ級超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度高，有機物含量高，電導率（小于1000μs/cm），要求產(chǎn)水電阻率15～18MΩ·cm的超純水系統(tǒng)圖5 常用的一級RO+二級EDI電子+MB 電子I級超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度低，有機物含量低，電導率高（小于1000μs/cm），要求產(chǎn)水電阻率18～18.2MΩ·cm的超純水系統(tǒng)圖 6 常用的一級RO+二級EDI電子Ⅱ級超純水系統(tǒng)工藝配置圖適合于源水硬度低，有機物含量低，電導率高（小于1000μs/cm），要求產(chǎn)水電阻率15～18MΩ·cm的超純水系統(tǒng)圖 7是常用的一級EDI全系統(tǒng)組成圖。圖 7 常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級RO+一級EDI+MB電子Ⅰ級超純水系統(tǒng)組成圖適合于源水硬度低，有機物含量高，電導率圖 8 常用的產(chǎn)水水質(zhì)穩(wěn)定的二級RO+一級EDI電子Ⅱ級超純水系統(tǒng)組成圖適合于源水硬度低，有機物含量高，電導率
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