氣體分子污染物（AMC），又名為懸浮分子污染物/氣載分子污染物，是危害微電子生產(chǎn)工藝并導(dǎo)致成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)，大多出現(xiàn)在潔凈室和受控環(huán)境的大氣中。 對于微電子潔凈室控制的挑戰(zhàn)在于AMC分子污染物的尺寸比粒子要小得多，會在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜沉積、多晶硅和硅化物形成、接觸成型、光刻等多個關(guān)鍵工藝上對晶片表面、設(shè)備表面產(chǎn)生侵蝕，還會產(chǎn)生非控制性硼化物或磷化物摻雜、晶圓表面或光學(xué)鏡面產(chǎn)生陰霾、微粒產(chǎn)塵等危害，從而大大影響了產(chǎn)品的質(zhì)量。晶圓加工流程 圖源：泛林集團AMC分類標(biāo)準(zhǔn) 圖源：AAF（愛美克）根據(jù)化學(xué)品的特性，在國際半導(dǎo)體設(shè)備及材料協(xié)會在SEMIF21-1102的標(biāo)準(zhǔn)中將潔凈室中的空氣污染物分為四種，一是酸性污染物，包括鹽酸、硝酸、硫酸、氫氟酸等，能夠誘發(fā)硼污染；第二種是堿性污染物，主要是氨氣，會造成保護層顯影不良；第三種是可凝性污染物，第四種是摻雜性污染物，兩者會造成元件表面污染，如P/N翻轉(zhuǎn)、氧化膜老化，金屬離子造成結(jié)合不緊密等。這些AMC主要來源包括工藝排風(fēng)、汽車尾氣、鍋爐排煙以及化工廠排氣等；潔凈室內(nèi)AMC的來源包括管路泄漏、清洗和濕法刻蝕設(shè)備泄漏、建筑與設(shè)備材料氣體散發(fā)和潔凈室內(nèi)人員攜帶等。另一個挑戰(zhàn)在于，隨著大尺寸晶圓的普及，單個晶圓的成本增加，針對機臺控制納米級顆粒物和AMC污染的需求也相應(yīng)增加。此外，在EUV機臺和多重曝光DUV光刻機中使用的...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
28
瀏覽次數(shù)：470
近年來，伴隨著我國國民經(jīng)濟的快速發(fā)展和人民生活水平的提高，國家醫(yī)療衛(wèi)生事業(yè)同樣也得到了迅猛發(fā)展，新的醫(yī)療技術(shù)對室內(nèi)環(huán)境的要求不斷提高。其中手術(shù)室凈化空調(diào)設(shè)計成為綜合醫(yī)院空調(diào)設(shè)計最為重要的一環(huán)，潔凈手術(shù)室凈化設(shè)計的目的是通過凈化設(shè)計有效阻止室外污染物侵入室內(nèi)，降低術(shù)后感染率，同時迅速有效排除室內(nèi)的污染氣，防止病菌擴散。一、室內(nèi)設(shè)計參數(shù)的確定凈化空調(diào)設(shè)計參數(shù)的確定與普通舒適性空調(diào)系統(tǒng)有很大的區(qū)別。從溫濕度來說，舒適性空調(diào)的室內(nèi)溫濕度的確定只考慮工作人員的舒適性要求，而凈化空調(diào)不僅要考慮舒適性，更重要的是保證工藝所要求的特殊的溫度、濕度環(huán)境（包括減少靜電荷）。 除了溫濕度以外，凈化空調(diào)的設(shè)計參數(shù)還包括室內(nèi)外的發(fā)塵量和發(fā)菌量。室外大氣塵計數(shù)濃度各地差異很大，最高值為106粒/L。對于高效空氣凈化系統(tǒng)的5級及其以下的潔凈室，當(dāng)大氣塵濃度在10粒/L以內(nèi)變化時，對潔凈室含塵濃度的影響可以忽略不計。高效空氣凈化系統(tǒng)的設(shè)計大氣塵濃度宜取M=1O6粒/L。而中效空氣凈化空氣系統(tǒng)，其潔凈度受大氣塵濃度影響很大，所以設(shè)計大氣塵濃度宜分區(qū)決定。二、凈化空調(diào)冷熱源凈化空調(diào)采用設(shè)置在裙房屋面的兩臺多功能風(fēng)冷熱泵機組做為冷熱源，在制取7/12℃空調(diào)冷水的同時提供40/45℃空調(diào)熱水，作為凈化空調(diào)機組的冷源及再熱熱源，以達到節(jié)能目的。 多功能風(fēng)冷熱泵機組單臺制冷量681kW，熱回收量560kW...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
27
瀏覽次數(shù)：10
★NEWS★合格的第三方潔凈室檢測機構(gòu)普遍要求要有全面的潔凈相關(guān)檢測能力，可為藥品GMP車間、電子無塵車間、食品藥品包裝材料車間、無菌醫(yī)療器械車間、醫(yī)院潔凈手術(shù)室、生物普遍實驗室、保健食品GMP車間、化妝品/消毒品車間、動物實驗室、獸藥GMP車間、飲用桶裝水車間等潔凈室、潔凈廠房提供第三方檢測、調(diào)試、咨詢等專業(yè)技術(shù)服務(wù)。 潔凈室檢測范圍一般包括：潔凈室環(huán)境等級評定、工程驗收檢測，包括食品、保健品、化妝品、桶裝水、牛奶生產(chǎn)車間、電子產(chǎn)品產(chǎn)車間、GMP車間、醫(yī)院手術(shù)室、動物實驗室、生物安全實驗室、生物安全柜、超凈工作臺、無塵車間、無菌車間等。 檢測項目：風(fēng)速風(fēng)量、換氣次數(shù)、溫濕度、壓差、懸浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪聲、照度等。具體可以參考潔凈室檢測相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。一、風(fēng)速風(fēng)量換氣次數(shù)潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來實現(xiàn)的。為此，測定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過程產(chǎn)生的污染物，因此它們是主要關(guān)注的檢測項目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
26
瀏覽次數(shù)：17
免責(zé)聲明：以上內(nèi)容源于網(wǎng)絡(luò)，版權(quán)歸原作者所有，如涉及作品版權(quán)問題，請您告知我們將及時處理！
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
25
瀏覽次數(shù)：26
1. 空氣過濾器主要參數(shù)1.1 凈化空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)過濾器尺寸⑴ 空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)中最常用的過濾器; 無論是框式、袋式或W 式，名義尺寸通常為610mm X 610mm, 實際上就是發(fā)達國家24″X 24″的規(guī)格，對應(yīng)的外框尺寸則因生產(chǎn)廠不同單邊分別為592mm至597mm。⑵ 凈化系統(tǒng)末端用的高效過濾器, 發(fā)達國家始終以610mm ( 24″)為主, 其派生尺寸為203mm、305mm、762mm、915mm、1219mm、1524mm、1829mm（8″、12″、30″、36″、48″、60″、72″）。⑶ 國內(nèi)常用的無隔板高效過濾器尺寸基本上與國外的相同，有隔板高效過濾器的常用尺寸有484mm X 484mm X 220mm (GB-01 型) 和630mm X 630mmX 220mm (GB-03 型），這里的GB 與常說的“國標(biāo)”無關(guān)，其中G 是代表過濾器，B 是代表玻璃纖維。1.2 過濾器的額定風(fēng)量⑴ 過濾器的額定風(fēng)量是該過濾器可以通過的最大風(fēng)量，它取決于過濾材料的面積(不是過濾器的面積，過濾材料的面積經(jīng)常是過濾器迎風(fēng)面積的數(shù)十倍)，如通過過濾材料的氣流速度相同，過濾材料的面積大，通過的風(fēng)量也大，目前同樣結(jié)構(gòu)過濾器的額定風(fēng)量均取決于過濾器的尺寸大小。⑵ 同種結(jié)構(gòu)、同樣濾料的過濾器，當(dāng)終阻...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
24
瀏覽次數(shù)：12
藥廠潔凈區(qū)劃分ABCD，醫(yī)藥工業(yè)潔凈室和潔凈區(qū)是以微粒和微生物為主要控制對象，同時還應(yīng)對其環(huán)境溫度、濕度、壓差、照度、噪聲等作出規(guī)定。01藥廠潔凈區(qū)劃分ABCD等級A級：高風(fēng)險操作區(qū)，如：灌裝區(qū)、放置膠塞桶、敞口安瓿瓶、敞口西林瓶的區(qū)域及無菌裝配或連接操作的區(qū)域。通常用層流操作臺（罩）來維持該區(qū)的環(huán)境狀態(tài)。層流系統(tǒng)在其工作區(qū)域必須均勻送風(fēng)，風(fēng)速為0.36-0.54 m/s（指導(dǎo)值）。應(yīng)有數(shù)據(jù)證明層流的狀態(tài)并須驗證。在密閉的隔離操作器或手套箱內(nèi)，可使用單向流或較低的風(fēng)速。B級：指無菌配制和灌裝等高風(fēng)險操作A級區(qū)所處的背景區(qū)域。C級和D級：指生產(chǎn)無菌藥品過程中重要程度較低的潔凈操作區(qū)。A級對應(yīng)的是動態(tài)百級，即在動態(tài)條件下應(yīng)仍為百級。B級對應(yīng)的是靜態(tài)百級，即在靜態(tài)條件下滿足百級即可，在動態(tài)條件下可以符合萬級標(biāo)準(zhǔn)。（GMP里面沒有所謂千級的說法。）C級對應(yīng)萬級，靜態(tài)條件下符合萬級標(biāo)準(zhǔn)，動態(tài)條件下符合D級標(biāo)準(zhǔn)，即十萬級。D級對應(yīng)十萬級 。02藥廠ABCD潔凈區(qū)環(huán)境要求A級潔凈區(qū)操作區(qū)的空氣溫度應(yīng)為 20－24℃操作區(qū)的空氣相對濕度應(yīng)為 45％－60％操作區(qū)的風(fēng)速：水平風(fēng)速≥0.54m/s垂直風(fēng)速≥0.36m/s高效過濾器的檢漏大于99.97%照度：＞300lx-600lx噪音：≤75db（動態(tài)測試）B級潔凈區(qū)操作區(qū)的空氣溫度應(yīng)為 20－24℃操作區(qū)的空氣相對濕度應(yīng)為 45％－60％房間換氣次...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
22
瀏覽次數(shù)：100212
為了讓潔凈室能夠達到良好的效果，國內(nèi)外有不少相關(guān)文獻的發(fā)表，闡述角度也各有不同。但是，實際操作很難做到理想地配合，而且設(shè)計者很難把握施工安裝質(zhì)量以及使用和管理情況?！毕旅嬷饕且詽崈羰覂艋胧┲羞_到潔凈度要求的四個必要條件進行闡述！一、送風(fēng)潔凈度要保證送風(fēng)潔凈度符合要求，關(guān)鍵是凈化系統(tǒng)末級過濾器的性能和安裝。凈化系統(tǒng)末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定高效過濾器效率分四檔：A類為≥99.9%，B類為≥99.99%，C類為≥99.999%，D類為(對≥0。1μm粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器)；亞高效過濾器為(對≥0.5μm粒子)95~99.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應(yīng)本著既要滿足送風(fēng)潔凈度要求，又要考慮經(jīng)濟合理。從潔凈度要求考慮，以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來，100萬級可選用高中效過濾器；低于1萬級可選用亞高效或A類高效過濾器；1萬~100級選用B類過濾器；100~1級選用C類過濾器。每個潔凈度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇，選擇高性能的還是低性能的，要視具體情況而定。當(dāng)環(huán)境污染嚴(yán)重，或室內(nèi)排風(fēng)比例很大，或該潔凈室特別重要，需要較大安全系數(shù)，在這些或其中之一情況下，均要選擇高一類過濾器；反之可選擇較低性能過濾器。對0.1μm粒子要求控制的潔凈室，不論控制的粒子濃度高低均要選擇D...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
21
瀏覽次數(shù)：13
用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的受控環(huán)境就是電子工業(yè)潔凈室。該類潔凈室內(nèi)的污染物在空氣中的微粒、溫度、濕度、氣壓、氣流模式、空氣運動、振動、噪音、生物體和照明方面受到高度控制。對于敏感的先進電子產(chǎn)品，現(xiàn)代OEM不能冒任何微粒污染的風(fēng)險——微芯片上的微小灰塵可能與巨石一樣具有破壞性。受污染的產(chǎn)品每年給電子制造商造成數(shù)百萬美元的損失，可能導(dǎo)致失去最重要的ISO體系認(rèn)證，并產(chǎn)生難以撼動的負(fù)面宣傳。因此需要建立電子潔凈室，以防止高精度的電子產(chǎn)品損壞。同時，電子制造商必須確保其制造空間的清潔，以保持其產(chǎn)品的完整性。除了控制空氣中顆粒的數(shù)量和大小以防止不可修復(fù)的破壞外，電子潔凈室系統(tǒng)還可以滿足對防靜電要求。此外，電子處理和存儲需要潔凈室。電子潔凈室標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)不同的應(yīng)用，電子潔凈室將滿足特定的潔凈度要求。電子潔凈室必須符合兩個標(biāo)準(zhǔn)：FED STD 209E：該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)單位(空氣體積單位為ft3)定義空氣中懸浮顆粒物的濃度。FS209E包含六個等級:1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，其中1級為“最干凈”，100000級為“最臟”。ISO 14644-1：該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)單位(空氣體積單位為m3)定義了空氣中懸浮顆粒的濃度。ISO 14644-1有九個等級，ISO 1是“最干凈”的，ISO 9是“最臟”的。這兩個標(biāo)準(zhǔn)都根據(jù)潔凈室空氣中發(fā)現(xiàn)的顆粒數(shù)量對潔凈室進行分類，可以互換使用...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
20
瀏覽次數(shù)：25
近年，越來越多的食品廠開始考慮在內(nèi)包裝等工段區(qū)域建設(shè)潔凈車間，建設(shè)潔凈車間可有效減少生產(chǎn)出的產(chǎn)品受到微生物污染，有效提高產(chǎn)品品質(zhì)和生產(chǎn)效益。1何為潔凈車間潔凈車間也叫無塵車間、潔凈室、無塵室，是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。什么是十萬級潔凈車間呢？簡單來說，就是車間每立方米空氣中直徑≥0.5μm粒子數(shù)不大于352萬個，空氣中粒子數(shù)越少，就意味著灰塵和微生物數(shù)量越少，空氣越潔凈。十萬級潔凈車間還要求車間每小時換氣需達到15-19次，完全換氣后空氣凈化時間不超過40分鐘。2食品廠車間的分區(qū)食品車間可大致分為三個區(qū)域：一般作業(yè)區(qū)、準(zhǔn)清潔區(qū)、清潔作業(yè)區(qū)⊙一般作業(yè)區(qū)（非清潔區(qū)）：一般的原料、成品、工具儲存區(qū)域，包裝成品轉(zhuǎn)運區(qū)域等原料、成品裸露風(fēng)險較低的區(qū)域，如外包裝室、原輔料倉庫、包裝材料倉庫、外包裝車間、成品倉庫等。⊙準(zhǔn)清潔區(qū)：要求次之，如原料處理、包材處理、包裝、緩沖間（拆包間）、一般生產(chǎn)加工間、非即食食品的內(nèi)包裝間等成品處理但不直接裸露的區(qū)域?！亚鍧嵶鳂I(yè)區(qū): 此分區(qū)常被建設(shè)為潔凈車間，通常指衛(wèi)生環(huán)境要求最高，人員、環(huán)境要求...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
19
瀏覽次數(shù)：17
![潔凈室空調(diào)負(fù)荷、風(fēng)量、潔凈度的設(shè)計和計算]( "潔凈室空調(diào)負(fù)荷、風(fēng)量、潔凈度的設(shè)計和計算")
潔凈室的設(shè)計計算潔凈室的設(shè)計計算包括空調(diào)負(fù)荷計算，風(fēng)量計算，潔凈度校核計算等內(nèi)容?？照{(diào)負(fù)荷計算潔凈室的空調(diào)負(fù)荷包括復(fù)季冷負(fù)荷與冬季熱負(fù)荷。有人認(rèn)為計算方法與一般空調(diào)負(fù)荷的計算方法相同。其實，潔凈室的負(fù)荷計算與一般空調(diào)的負(fù)荷計算有許多區(qū)別。對于許多材料中推薦的負(fù)荷估算指標(biāo)，不知道這些估算指標(biāo)的詳細(xì)來源，在工程實踐中發(fā)現(xiàn)這些估算指標(biāo)比實際負(fù)荷大很多。對于一些沒有經(jīng)驗的設(shè)計人員，也許會受到估算指標(biāo)的影響而不相信自己的計算數(shù)據(jù)，進而加大安全裕量，或者干脆套用估算指標(biāo)，這是非常有害的。在前幾年GMP認(rèn)證后，許多制藥企業(yè)感嘆凈化空調(diào)系統(tǒng)能耗太大而用不起。難道是凈化空調(diào)系統(tǒng)的錯誤嗎？有學(xué)者發(fā)現(xiàn)，無論是冷負(fù)荷還是送風(fēng)量都是層層加碼，導(dǎo)致機組、水泵、風(fēng)機等容量偏大很多。凈化空調(diào)比一般空調(diào)的能耗大是肯定的，但應(yīng)大的有依據(jù)。當(dāng)前，對凈化空調(diào)的節(jié)能設(shè)計迫在眉睫。在調(diào)研中發(fā)現(xiàn)，有不少空調(diào)用戶在最熱月，實際用冷量是設(shè)計冷量的1/2 ~ 3/5。若把這樣的設(shè)計作為估算冷負(fù)荷指標(biāo)的統(tǒng)計源，其數(shù)據(jù)必然大很多。所以，設(shè)計人員應(yīng)相信自己的計箅，回訪自己的用戶，獲得真實的冷負(fù)荷指標(biāo)。對于各種書籍中相互復(fù)制的冷負(fù)荷估算指標(biāo)成科學(xué)對待，只有在工程設(shè)計初期估算造價時，有一點參考價值。在施工圖階段，應(yīng)采用計算出的冷負(fù)荷選擇設(shè)備?？照{(diào)負(fù)荷計算方法很多，目前有許多負(fù)荷計算的軟件，使負(fù)荷計算變得非常容易。在應(yīng)用軟件或手工計算負(fù)荷時，應(yīng)...
發(fā)布時間:
2022
-
04
-
18
瀏覽次數(shù)：399